Cruz Acero, María Cruz,

Microtecnología : diario de un proceso ; fabricación de un microacelerómetro / Fabricación de un microacelerómetro. María Cruz Acero, Jaume Esteve, José Antonio Plaza y Emilio Lora-Tamayo. - Madrid : Consejo Superior de Investigaciones Científicas, 2010. - 1 online resource (154 pages) : ill. (some col.), maps. - Biblioteca de Ciencias ; 36. . - Biblioteca de Ciencias (Consejo Superior de Investigaciones Científicas (España)) ; 36. .

Includes bibliographical references and index.

9788400091637


Microelectronics.
Microelectromechanical systems--Design and construction.
Accelerometers.


Electronic books.

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