TY  - BOOK
AU  - Cruz Acero,María Cruz
AU  - Lora-Tamayo D'Ocon,Emilio
AU  - Plaza,José Antonio
AU  - Esteve,Jaume
TI  - Microtecnología: diario de un proceso ; fabricación de un microacelerómetro 
T2  - Biblioteca de Ciencias
SN  - 9788400091637
AV  - TK7875 eBook 
PY  - 2010///
CY  - Madrid
PB  - Consejo Superior de Investigaciones Científicas
KW  - Microelectronics
KW  - Microelectromechanical systems
KW  - Design and construction.
KW  - Accelerometers
KW  - Electronic books
N1  - Includes bibliographical references and index
UR  - https://www.digitaliapublishing.com/a/14649/
ER  -